主要特征： | •多功能集成: XPS, Parallel XPS Mapping, UPS，FE-AES, Auger Mapping, ISS
•表面灵敏: 信息深度来自试样表面1~5个原子层范围内(检测极限~0.1 atomic %)
•信息量大: 元素成分、价态、分布和深度
剖析的定性／定量分析
•分析元素范围宽: 除H、He以外的所有元素(典型的是：3Li～92U)
•无损检测: 软X射线几乎对试样没有损伤
•快速成像: 128通道的高效率二维位敏DLD(Delay-Line Detector)采谱和成像检测器
•专利的磁沉浸透镜和低能电子荷电中和系统
•罗兰圆直径500mm的大束斑Al单色X射线源和内置扫描板的多组元静电透镜
•165mm半球型扇形能量分析器(Hemispherical Sector Analyzer，HSA)和成像同心球面镜分析器(Spherical Mirror Analyzer，SMA) |
