系统组成

扫描电镜和电子束曝光图形发生器

扫描电镜厂家

美国FEI

扫描电镜型号

Quanta 200FEG

扫描电镜主要规格及技术指标

1. 分辨率：二次电子成像 高真空模式：2.0 nm（30 KV），3.5 nm(3 KV)

2. 加速电压范围：200 V~30 KV

电子束曝光图形发生器厂家

德国 Raith

电子束曝光图形发生器型号

ELPHY Quantum

电子束曝光图形发生器主要规格及技术指标

1.      扫描频率   6MHz

2.      最小停留时间   167 ns

3.      写场修正：硬件修正

扫描电镜电子束曝光系统主要功能及应用范围

1、固体物质的形貌分析。

2、采用电子束直接曝光的方法，用于制做微纳图形结构。无需掩模版，可用于制作：微纳电子器件，光电子器件，低维材料的纳米电极等。

联系人

韩玉洁

联系电话

65880320

E-Mail：

yjhan@suda.edu.cn