仪器名称

电子束蒸发镀膜机

型号

PVD75

厂家

科特莱思科（上海）商贸有限公司

主要规格及技术指标

1.基片尺寸≤Ф12英寸

3.极限真空度：5×10-5 Pa  

5.衬底温度：350 ℃

7.样平台转速：≤20 r/min  

9.镀膜均匀性：±5%（Al）

2.电子枪功率：5-10 KW

4.真空抽速：3*10-4 Pa/20 min

6.温度均匀性：±10 ℃

8.坩埚数量：4

10.控制系统：PC+PLC自动控制

主要功能及应用范围

电子蒸发镀膜机是一种普适镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。

主要附件

机械泵

联系人

朱文昌

联系电话

15301453461

E-mail

wczhu@suda.edu.cn