仪器名称

探针台

型号

M150

厂家

美国Cascade公司

主要规格及技术指标

1.载片台直径尺寸：6英寸；

2.温度控制系统：室温到300摄氏度；

3.显微镜最高放大倍数：光学400倍，带数字化视频输出；

4.探针架：4个，精度为0.7微米，带三轴电缆、转镜头；

5.漏电流小于50 fA。

主要功能及应用范围

该设备是开展微电子与光电子原型器件研究的基本设备，可用于各种有机半导体器件与纳米器件的电学性能评估、电学行为分析等。

主要附件

减震台

联系人

朱文昌

联系电话

15301453461

E-mail

wczhu@suda.edu.cn