型号

HKVAC3030S

主要规格及技术指标

1.涡轮干泵：抽速15 m³/h

2.分子泵：抽速480 L/S

3.蒸发源：6个，其中三个金属源，三个有机源

4.手套箱水氧含量皆可循环至1 ppm以下

主要功能及应用范围

蒸镀有机光电器件材料与电极

联系人

刘艳云

联系电话

65883196

E-mail

yyliu1@suda.edu.cn