仪器名称                      

Parylene镀膜设备

厂家

凯瑞纳米

型号

KR350HS

主要规格及技术指标

真空泵：28 m³/H，极限0.75 Pa

冷阱：≤-90 ℃

裂解炉：650 ℃~800 ℃

蒸发温度：室温~200 ℃，温度偏差：±2 ℃

主要功能及应用范围

用于Parylene涂层的化学气相沉积制备。Parylene涂层可用于电路板、微电子半导体产品和医疗产品等的涂敷保护，可用于制备透明柔性衬底等。

联系人

刘艳云

联系电话

65883196

E-mail

yyliu1@suda.edu.cn