厂家及型号

德国SPECS，PD300-IR

主要规格及

技术指标

1．靶材：He, Mg, Al, 功率：

2．最大工作电压：15 kV（持续），最大工作电流：8 A

3．分析器：±30°接收角，双μ金属挡板，探测范围达到3500 eV

主要功能及

应用范围

1）多功能集成：UPS，XPS，LEED，溅射退火，快速进样腔

2）表面灵敏：信息深度来自样品表面1~5个原子层范围内

3）单色性：UPS采用He I，XPS采用Al Kα并分别配备单色仪

4）高分辨率：UPS分辨率可达0.08 eV，XPS分辨率0.1 eV

5）无损测试：软X射线对大部分样品没有损伤

6）半球形能量分析器：平均半径150mm，1000*800（通道频率）

7）测试范围广：除H、He以外的所有元素

8）信息量大：样品的元素成分、价态、功函数、分布和深度

主要附件

可移动式蒸发源，可拆卸快速进样腔

联系人：韩玉洁

联系电话　：65880371

E-mail：yjhan@suda.edu.cn