仪器名称 | 台阶仪 |
型号 | D-100 |
厂家 | 美国KLA-Tencor |
主要规格及技术指标 | 扫描时最小正压力：0.03mg 最佳垂直分辨率：0.38A 最大垂直测量范围：800um |
主要功能及应用范围 | 用于各种材料的膜厚测量 |
联系人 | 杨旭敏 |
联系电话 | 65884226 |
责任编辑：杨旭敏
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