仪器名称
狭缝涂布机
厂家
nTact(FAS Holdings Group, LLC),美国德克萨斯州达拉斯
型号
nRad Generation 1
主要规格及
技术指标
最大基板尺寸:200 × 300 mm(刚性或柔性基材)涂布方式:移动式挤出模头(狭缝涂布),基板静止模头唇口开口宽度:依配置不同(140~190 mm)涂布间隙控制:接触式线性编码器,精度高 X轴驱动:直线电机,气浮轴承导轨 Z轴驱动:伺服电机+滚珠丝杠,行程14 mm
供料系统:高精度注射泵(陶瓷/不锈钢),旋转阀切换
主要功能及
应用范围
在平板、片状或柔性基板上直接沉积高纯度工艺流体的连续湿膜薄涂层可用于工艺验证、涂层厚度优化、配方筛选及放大工艺开发。
主要附件
多种卡盘组件、对应尺寸的挤出模头、溶剂槽、引液槽、滴盘。
联系人:刘艳云
E-mail:yyliu1@suda.edu.cn
责任编辑:刘艳云、朱文昌